BAOSI VACUUM 水冷式オイル潤滑分子真空ポンプ
技術パラメータ
|
モデル |
|
DFFY 400/4500PM |
|
|
入口フランジ |
- |
LF400 |
|
|
出口フランジ |
- |
KF40 |
|
|
排気速度 |
L/s |
N2:4500 |
|
|
圧縮比 N2 |
- |
1×108 |
|
|
到達圧力 |
Pa |
5×10-6 |
|
|
回転速度 |
rpm |
21000 |
|
|
起動時間 |
分 |
<18 |
|
|
オイル |
ml |
200 |
|
|
予備真空ポンプ速度 |
L/s |
30 |
|
|
冷却水温度 |
℃ |
≦25 |
|
|
冷却水流量 |
L/s |
1 |
|
|
ヒーター電力 |
W |
≦1200 |
|
|
ヒーター電圧 |
V |
220 |
|
|
設置方向 |
- |
任意 |
|
|
重量 |
kg |
85 |
|
外形図:
![]()
排気曲線:
![]()
設置環境要件:
1. ポンプ本体表面の半径方向および軸方向の磁場強度は、3 mT (30 Gs) を超えてはならない。
2. 分子ポンプは、105 rad の放射線強度に耐える。
3. 周囲温度:5~40℃
4. 相対湿度:≦85%
5. 電圧:220±22V、周波数:50±1Hz
6. 標高:≦3000m
用途:
オイル潤滑ターボ分子ポンプは、これらの主要産業で広く使用されています。
➢ 半導体およびマイクロエレクトロニクス
➢ 真空コーティング(PVD/CVD)
➢ 科学研究および実験分析
➢ 真空熱処理および冶金
➢ 光エレクトロニクスおよびレーザー製造
➢ リチウム電池および新エネルギー材料加工
➢ 分析機器
➢ 航空宇宙および航空真空試験