BAOSI VACUUM DFFZ250/2000PM-W、水冷ターボ分子真空ポンプ
特徴
技術パラメータ
| モデル | DFFZ250/2000PM-W | ||
| 入口フランジ | - | CF250 | LF250 |
| 出口フランジ | - | KF40 | |
| 排気速度 | L/s | 2000 | |
| 圧縮比 N2/H2 | - | 1×108/6×103 | |
| 到達圧力 | Pa | 6×10-6 | 6×10-7 |
| 回転速度 | rpm | 24000 | |
| 立上り時間 | 分 | <7 | |
| 振動 | μm | ≦0.15 | |
| 粗引きポンプ速度 | L/s | 15 | |
| 冷却水温度 | ≦25 | ||
| 冷却水流量 | L/s | ≧1 | |
| 最大電力 | W | ≦700 | |
| 電圧 | V | 220 | |
| 設置方向 | - | 任意方向 | |
| 重量 | kg | 42kg | |
外形図
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