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GRM4201 ロードロック搬送用大型多段ルーツドライ真空ポンプ 4200 m3/h オイルフリー

Name: GRM4201 ロードロック搬送用大型多段ルーツドライ真空ポンプ 4200 m3/h オイルフリー
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM4201
Price: 28,500.00 USD
Availability: InStock

製品詳細:

起源の場所:	中国
ブランド名:	Baosi
証明:	CE
モデル番号:	GRM4201

詳細情報

起源の場所:

中国

ブランド名:

Baosi

証明:

モデル番号:

GRM4201

到達圧力:

≤0.5Pa

排気速度:

4200m3/h

入口:

ISO160

寸法:

1695×600×1450mm（メイン）＋295×600×1450mm（ブースター）

ノイズ:

≤75db（a）

重さ:

1400KG

ハイライト:

High Light

ハイライト:

大根ドライ真空ポンプ、4200m3hロードロック真空、大容量半導体ポンプ

4200m3h load lock vacuum

high capacity semiconductor pump

取引情報

最小注文数量:

1セット

価格:

USD 22000-35000/Set

パッケージの詳細:

輸出標準木製ケース包装

受渡し時間:

30～45営業日

支払条件:

T/T、L/C

供給の能力:

15 SETS/MONTH

商品の説明

GRM4201 大型多段ルーツドライ真空ポンプ — 4200 m3/h 大容量ソリューション

GRM4201 は、ロードロックチャンバー、トランスファーチャンバー、および高速ポンプダウンアプリケーション向けに特別に設計された大規模な多段ルーツドライ真空ポンプです。 4200 m3/h の排気速度と 13+10 kW デュアルモーター構成により、高速サイクルと高真空完全性が重要となるヘテロ接合太陽電池製造とリチウム電池ギガファクトリーの需要を満たします。

主な特長

超大容量:4200 m3/h の高速ロードロックポンプダウンサイクル
マルチステージルート + ブースター:高真空で広い使用圧力範囲
強力なデュアルモーター:13+10kW永久磁石同期モーター
ユニークなローター設計:高効率で低エネルギー消費を実現するように最適化されています
オイルフリークリーンバキューム：油による汚染がないため、半導体や太陽光発電に最適です
精密製造:完全な互換性を備えた高度な CNC 加工ローター
デュアルエンドベアリングサポート:振動を最小限に抑えた非常に信頼性の高いローターサポート
優れた起動信頼性:要求の厳しいプロセスサイクル向けに設計
高度なシーリング:リップシール + ラビリンスオイルバリア + 窒素パージ — 真のオイルフリー
水冷密閉モーター：油漏れのリスクを排除し、耐用年数を延長します。
インテリジェントな制御:I/OとRS485(Modbus-RTU)によるワンタッチスタート/ストップ

技術仕様

モデル	GRM4201
排気速度	4200m3/h
到達圧力（パージなし）	≤0.5Pa
モーター出力	13+10kW
電圧	380V(三相)
インレット接続	ISO160
コンセント接続	KF50
騒音レベル（サイレンサーあり）	≤75dB(A)
重さ	1400kg（メインポンプ）
寸法 - メインポンプ (LWH)	16956001450mm
寸法 — ブースター (LWH)	2956001450mm
冷却水圧力	0.1～0.7MPa
冷却水の流れ	8～10L/分
N₂ パージ圧力	0.2～0.5MPa
N₂ パージの流れ	0～120L/分
動作温度	5～40℃。 ≤80%相対湿度

アプリケーション

半導体製造: ロードロックチャンバー、トランスファーモジュール、プロセスインターフェイス
ヘテロ接合 (HJT) 太陽電池: PECVD 真空、急速ポンプダウン
リチウム電池ギガファクトリー: 大量セルの乾燥と真空処理
真空コーティング: チャンバーの真空を維持しながら基板を搬送するためのロードロック

タグ:

GRM4201 ロードロック搬送用大型多段ルーツドライ真空ポンプ 4200 m3/h オイルフリー

High Light

ハイライト:

大根ドライ真空ポンプ、4200m3hロードロック真空、大容量半導体ポンプ

4200m3h load lock vacuum

high capacity semiconductor pump

ターボ真空ポンプ,

高真空ポンプ,

大根ドライ真空ポンプ、4200m3hロードロック真空、大容量半導体ポンプ

水冷ドライ真空ポンプ 1200m³/h ≦0.5Pa GRH1202

水冷却乾燥真空ポンプ 1200m3/h,≤0.15Pa1.9kw,GRM1201

水冷ドライ真空ポンプ 200m³/h、≦0.5Pa、1.9kW、GRM201

水冷却乾燥真空ポンプ 600m3/h,≤0.15Pa1.9kw,GRM601