バオシ水冷却乾燥式真空ポンプ GRM201200m3/h ≤0.5Pa1.9kw低電力消費高圧速度で強い除塵能力簡単に凝縮可能なプロセスガスを輸送する能力安定したポンプ速度により,高排気体積のプロセスに適しており,高い信頼性と低運用および保守コストを提供します.PECVDのような要求の高いプロセスです光伏や半導体などの産業で
| モデル | ユニット | GRM201 | ||
| ポンプ速度 | m3/h | 200 | ||
| 究極の圧力 | パパ | ≤0.5 | ||
| 定数電源 | kW | 1.9 | ||
| 定位電圧 | V | 380 | ||
| 冷却水 | 圧力 | MPa | 0.1-0. わかった6 | |
| 流量 | L/分 | ≥3 | ||
| テンパー | °C | 5~30 | ||
| コネクタ | - | G3/8 | ||
| N について2清掃 | 圧力 | MPa | 0.2~06 | |
| 流量 | L/分 | 12〜50 | ||
| コネクタ | - | G1/4 | ||
| 入り口 | - | ISO63 | ||
| 出口 | - | KF25 | ||
| 騒音 | dB | ≤63 | ||
| ワーキングテンパー | °C | 5~40 | ||
| 体重 | kgs | 150 | ||
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図面
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適用:
これは,光伏や半導体などの産業におけるPECVD,MOCVD,SiC-CVDなどの清潔で適度で要求の高いプロセスに適しています.