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GRH1802 乾燥爪真空ポンプ 1800 m3/h 半導体製造用高速無油真空ポンプ

Name: GRH1802 乾燥爪真空ポンプ 1800 m3/h 半導体製造用高速無油真空ポンプ
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRH1802
Price: 150,000.00 USD
Availability: InStock

製品詳細:

起源の場所:	中国
ブランド名:	Baosi
モデル番号:	GRH1802

詳細情報

起源の場所:

中国

ブランド名:

Baosi

モデル番号:

GRH1802

排気速度:

1800立方メートル/時

到達圧力:

≤0.5Pa

モーター出力:

7.5+4.5kW

電圧:

380V/三相

入口:

ISO160

出口:

KF40

ノイズ:

＜70dB(A)

重さ:

472キロ

寸法:

935×420×795mm

冷却水:

0.3～0.6MPa、6L/min

N2パージ:

0.25～0.69MPa、4～96L/min

ハイライト:

High Light

ハイライト:

高速乾燥真空ポンプ

1800m3h 爪の真空ポンプ

半導体プロセス用真空ポンプ

取引情報

最小注文数量:

1セット

価格:

USD 20000-280000/Set

パッケージの詳細:

輸出標準木製ケース包装

受渡し時間:

15～30営業日

支払条件:

T/T

供給の能力:

50セット/月

商品の説明

GRH1802 ドライクロー真空ポンプ — 1800 m3/h オイルフリー産業用ソリューション

GRH1802 は、GRH シリーズの高性能ドライクロー真空ポンプで、到達圧力 0.5 Pa 以下で排気速度 1800 m3/h を実現します。オイルフリーのクロー機構により、汚染のない真空環境が要求される半導体、太陽光発電、リチウム電池の製造プロセスに最適です。

主な特長

オイルフリークロー機構：ポンプチャンバー内にオイルや作動媒体が存在しない - プロセスの清浄度を確保
永久磁石同期モーター:優れたエネルギー効率により運用コストを削減
高度なローター設計:過酷なプロセス条件に対応する強化された粉塵排出能力
ほこりや蒸気に強い:圧送ガス中の粉塵や水蒸気を確実に処理
コンパクト&統合:スペース効率の高い設計 (935 * 420 * 795 mm、472 kg)
完全な保護:強力な適応制御による包括的な保護
低振動&低騒音:到達圧力で70 dB(A)未満
高度なシーリングシステム:リップシール＋ラビリンスシール＋窒素パージによるオイルフリー真空対応
リモート監視:リモート制御用の I/O および RS485 (Modbus) インターフェイス

技術仕様

モデル	GRH1802
排気速度	1800m3/h
到達圧力	≤0.5Pa
モーター出力	7.5+4.5kW
電圧	380V(三相)
インレット接続	ISO160
コンセント接続	KF40
騒音レベル	＜70dB(A)
重さ	472kg
寸法 (長さ幅高さ)	935420795mm
冷却水圧力	0.3～0.6MPa
冷却水の流れ	6L/分
N₂ パージ圧力	0.25～0.69MPa
N₂ パージの流れ	4～96L/分
動作温度	5～40℃。 ≤80%相対湿度

アプリケーション

半導体: エッチング、イオン注入、CVD (ALD、PECVD、MOCVD、SACVD、RTP、HDP-CVD)
太陽光発電：結晶成長炉、太陽電池製造
リチウム電池：セル真空乾燥、電解液充填、脱ガス

タグ:

GRH1802 乾燥爪真空ポンプ 1800 m3/h 半導体製造用高速無油真空ポンプ

High Light

ハイライト:

高速乾燥真空ポンプ

1800m3h 爪の真空ポンプ

半導体プロセス用真空ポンプ

GRH1802 ドライクロー真空ポンプ — 1800 m3/h オイルフリー産業用ソリューション

主な特長

技術仕様

アプリケーション

ターボ真空ポンプ,

高真空ポンプ

省エネルーツドライ真空ポンプ、4200m³/h、GRM4201-ETL 産業用

根乾式真空ポンプ GRM4201-ETL 4200m3/h ≤0.5Pa 工業真空用用用水冷却

GRM201 多段階の根乾真空ポンプ 200 m3/h 半導体清浄プロセスのための油のないコンパクト真空ポンプ

GRH1202 乾燥爪真空ポンプ 1200 m3/h 半導体CVDプロセスのための無油産業真空ポンプ

GRH6002 ドライクロー真空ポンプ 6000m3/h 半導体プロセス用超大容量オイルフリー真空ポンプ

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水冷却乾燥真空ポンプ 1200m3/h ≤0.5Pa 工業用用油なし