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GRH3001 乾燥爪真空ポンプ 3000 m3/h 半導体プロセスのための油のない設計

Name: GRH3001 乾燥爪真空ポンプ 3000 m3/h 半導体プロセスのための油のない設計
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRH3001
Price: 15,650.00 USD
Availability: InStock

製品詳細:

起源の場所:	中国
ブランド名:	Baosi
証明:	CE
モデル番号:	GRH3001

詳細情報

起源の場所:

中国

ブランド名:

Baosi

証明:

モデル番号:

GRH3001

排気速度:

3000のmの³ /h

到達圧力:

≤0.5Pa

モーター出力:

11+7.5kW

電圧:

380V/三相

入口:

ISO160

出口:

KF40

ノイズ:

≤70 DB (A)

重さ:

770kg

寸法:

922×516×988mm

冷却水:

0.1～0.6MPa、11L/min

N2パージ:

0.2～0.6MPa、43/97/123L/min

ハイライト:

High Light

ハイライト:

大容量ドライ真空ポンプ、3000m3h クロー真空ポンプ、産業用半導体真空ポンプ

3000m3h claw vacuum pump

industrial semiconductor vacuum pump

取引情報

最小注文数量:

1セット

価格:

USD 12800-18500/Set

パッケージの詳細:

輸出標準木製ケース包装

受渡し時間:

20-35営業日

支払条件:

T/T、L/C

供給の能力:

30セット/月

商品の説明

GRH3001 ドライクロー真空ポンプ 3000 m3/h 半導体産業プロセス用大容量オイルフリー真空ポンプ

GRH3001 ドライクロー真空ポンプ — 3000 m3/h 大容量オイルフリーソリューション

GRH3001 は、到達圧力 0.5 Pa 以下で排気速度 3000 m3/h を実現する大容量ドライクロー真空ポンプです。強力な 11+7.5 kW デュアルモーター構成により、汚染のない動作を維持しながら、最も要求の厳しい半導体、太陽光発電、およびリチウム電池の製造プロセスに対応します。

主な特長

大容量オイルフリー設計:排気速度 3000 m3/h、油汚染リスクゼロ
デュアルモーターシステム:最大効率を実現する 11+7.5 kW 永久磁石同期モーター
高度なクローローター:過酷な環境下でも優れた防塵性と長寿命を実現
防塵・防蒸気性:プロセスガス中の微粒子や水蒸気の影響を受けません
コンパクトな統合:設置面積 922 * 516 * 988 mm、耐荷重 770 kg の堅牢な構造
包括的な保護:適応制御による完全な安全性と監視機能
低騒音動作:≤70 dB(A) で快適な作業環境を実現
多層シーリング:リップシール + ラビリンスシール + 窒素パージによりオイルフリー真空を保証
スマート接続:I/O および RS485 (Modbus プロトコル) のリモート監視および制御

技術仕様

モデル	GRH3001
排気速度	3000m3/h
到達圧力	≤0.5Pa
モーター出力	11+7.5kW
電圧	380V(三相)
インレット接続	ISO160
コンセント接続	KF40
騒音レベル	≤70dB(A)
重さ	770kg
寸法 (長さ幅高さ)	922516988mm
冷却水圧力	0.1～0.6MPa
冷却水の流れ	11L/分
N₂ パージ圧力	0.2～0.6MPa
N₂ パージの流れ	43/97/123L/分
動作温度	5～40℃。相対湿度 90% 以下

アプリケーション

半導体：エッチング、イオン注入、CVD (ALD、LPCVD、PECVD、MOCVD、SACVD、RTP、HDP-CVD)
太陽光発電:結晶成長、太陽電池製造プロセス
リチウム電池:セルの真空乾燥、電解液の充填、脱気プロセス

タグ:

GRH3001 乾燥爪真空ポンプ 3000 m3/h 半導体プロセスのための油のない設計

High Light

ハイライト:

大容量ドライ真空ポンプ、3000m3h クロー真空ポンプ、産業用半導体真空ポンプ

3000m3h claw vacuum pump

industrial semiconductor vacuum pump

ターボ真空ポンプ,

高真空ポンプ,

大容量ドライ真空ポンプ、3000m3h クロー真空ポンプ、産業用半導体真空ポンプ

GRM1201 多段階根乾真空ポンプ 1200 m3/h 半導体用PECVDのオイルフリー MOCVD

水冷ドライ真空ポンプ 1200m³/h ≦0.5Pa GRH1202

水冷却乾燥真空ポンプ 1200m3/h,≤0.15Pa1.9kw,GRM1201

水冷ドライ真空ポンプ 200m³/h、≦0.5Pa、1.9kW、GRM201

水冷却乾燥真空ポンプ 600m3/h,≤0.15Pa1.9kw,GRM601