家へ > 製品 >

GRM1201 多段階根乾真空ポンプ 1200 m3/h 半導体用PECVDのオイルフリー MOCVD

Name: GRM1201 多段階根乾真空ポンプ 1200 m3/h 半導体用PECVDのオイルフリー MOCVD
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM1201
Price: 10,500.00 USD
Availability: InStock

製品詳細:

起源の場所:	中国
ブランド名:	Baosi
証明:	CE
モデル番号:	GRM1201

詳細情報

起源の場所:

中国

ブランド名:

Baosi

証明:

モデル番号:

GRM1201

排気速度:

1200m3/h

到達圧力:

≤0.15Pa

モーター出力:

1.9+1.9kW

電圧:

380V/三相

入口:

ISO160

出口:

KF25

ノイズ:

≤63dB(A)

重さ:

260 kg

寸法:

865×344×751mm

冷却水:

0.1～0.6MPa、≧4L/min

N2パージ:

0.2～0.6MPa、12～50L/min

ハイライト:

High Light

ハイライト:

高速根真空ポンプ

1200m3h乾燥真空ポンプ

PECVD MOCVD プロセスの真空

取引情報

最小注文数量:

1セット

価格:

USD 8500-12500/Set

パッケージの詳細:

輸出標準木製ケース包装

受渡し時間:

15～30営業日

支払条件:

T/T、L/C

供給の能力:

50セット/月

商品の説明

GRM1201 多段ルーツドライ真空ポンプ 1200 m3/h 半導体 PECVD MOCVD 用オイルフリー高速真空ポンプ

GRM1201 マルチステージルーツドライ真空ポンプ — 1200 m3/h 高速ソリューション

GRM1201 は、到達圧力 0.15 Pa 以下で 1200 m3/h の排気速度を実現する高速多段ルーツドライ真空ポンプです。GRM601 (865 * 344 * 751 mm、260 kg) と同じコンパクトなプラットフォームを共有していますが、より高いスループットを実現する ISO160 入口を備えており、PECVD、MOCVD、要求の厳しい半導体のクリーンおよび中規模プロセスのアプリケーションに優れています。

主な特長

高速多段ルート:1200 m3/h で低消費電力
デュアルモーター効率:1.9+1.9kW永久磁石同期モーター
優れた到達圧力:≤0.15 Pa は厳しいプロセス要件を満たします
超静音:≤63 dB(A) — クリーンルーム対応の騒音レベル
大型 ISO160 インレット:生産規模のアプリケーション向けに高いガススループットを処理します
オイルフリークリーンバキューム：デリケートな半導体プロセスでも油汚染なし
優れた防塵処理:粒子の多い環境向けの高度なローター設計
コンパクトなプラットフォーム:GRM601と同じ設置面積 - ライン統合が容易
トリプルシーリングシステム:リップシール + ラビリンス + 窒素パージによりオイルフリー真空を保証
スマート接続:リモート工場統合のための I/O および RS485 (Modbus)

技術仕様

モデル	GRM1201
排気速度	1200m3/h
到達圧力（パージなし）	≤0.15Pa
モーター出力	1.9+1.9kW
電圧	380V(三相)
インレット接続	ISO160
コンセント接続	KF25
騒音レベル	≤63dB(A)
重さ	260kg
寸法 (長さ幅高さ)	865344751mm
冷却水圧力	0.1～0.6MPa
冷却水の流れ	≧4L/分
N₂ パージ圧力	0.2～0.6MPa
N₂ パージの流れ	12～50L/分
動作温度	5～40℃。相対湿度 90% 以下

アプリケーション

半導体: PECVD、MOCVD、SACVD、RTP、HDP-CVD、ALD、メタルエッチング、シリコンエッチング
太陽光発電: 高スループット太陽電池製造ライン
リチウム電池: 生産規模のセル乾燥と電解液処理
フラットパネルディスプレイ: OLED および LCD の製造

タグ:

GRM1201 多段階根乾真空ポンプ 1200 m3/h 半導体用PECVDのオイルフリー MOCVD

High Light

ハイライト:

高速根真空ポンプ

1200m3h乾燥真空ポンプ

PECVD MOCVD プロセスの真空

ターボ真空ポンプ,

高真空ポンプ,

高速根真空ポンプ

水冷却乾燥真空ポンプ 1200m3/h,≤0.15Pa1.9kw,GRM1201

水冷ドライ真空ポンプ 200m³/h、≦0.5Pa、1.9kW、GRM201

水冷却乾燥真空ポンプ 600m3/h,≤0.15Pa1.9kw,GRM601